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1、 蝶形缺陷是超大规模集成电路光刻理论术语，指在Cu布线的CMP过程中，由于对具有不同抛光速率的材料同时抛光。
2、导致了芯片表面的不平整，铜线内出现凹陷型的缺陷。
关于碟形缺陷到此分享完毕，希望能帮助到您。
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